近日，有研科技集團有限公司所屬的有研億金新材料有限公司（以下簡稱有研億金）主持完成的“集成電路用超高純銅及其合金互連材料的關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”項目榮獲中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎一等獎。

　　超高純金屬濺射靶材是集成電路制造用關(guān)鍵材料之一。在數(shù)字經(jīng)濟驅(qū)動下，半導(dǎo)體行業(yè)的長期景氣和國產(chǎn)化替代進程的加速，對高性能靶材的需求持續(xù)提升。超高純銅及其合金靶材是先進集成電路制造工藝中最重要的互連線材料。在12英寸晶圓制造中，用于90nm至7nm先進制程芯片內(nèi)元件互連，在后道先進封裝中用于芯片間高密度封裝。近年來，隨著全球12英寸晶圓廠不斷涌現(xiàn)（2021年達(dá)到120余座，其中，國內(nèi)達(dá)到40余座），超高純銅及其合金靶材年需求量持續(xù)增長，預(yù)計僅國內(nèi)市場用量就達(dá)到萬塊以上。突破超高純銅及其合金靶材全流程關(guān)鍵技術(shù)國產(chǎn)化，實現(xiàn)自主保障能力刻不容緩。

　　該項目成功突破了超高純銅深度凈化、高品質(zhì)熔鑄、微觀組織調(diào)控、高可靠焊接、超高純銅原材料的梯次應(yīng)用及低碳綠色可循環(huán)利用等多項核心關(guān)鍵技術(shù)，成為全球僅有的三家掌握99.9999%級超高純銅及其合金從原材料提純到靶材制備垂直一體化全套技術(shù)的企業(yè)之一。該產(chǎn)品性能達(dá)到國際先進水平，填補了國內(nèi)空白，躋身我國集成電路用關(guān)鍵材料超高純銅及其合金靶材核心供應(yīng)商，改變了該項產(chǎn)品長期被國外壟斷的被動局面，為極大規(guī)模集成電路技術(shù)發(fā)展提供關(guān)鍵支撐，有力地保障了我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈和供應(yīng)鏈安全。

　　有研億金將致力于集成電路用關(guān)鍵材料核心技術(shù)的新突破，努力成為集成電路核心材料領(lǐng)域的“領(lǐng)跑者”，爭當(dāng)科技創(chuàng)新主力軍。